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EDI超纯水装置

  为了满足电子行业用水需求,根据光电材料,液晶显示屏生产,加工,清洗等所需使用超纯水标准,而设计的一套超纯水设备。

  第一,EDI超纯水设备出水符合标准

  超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ。cm、15MΩ。cm、10MΩ。cm、2MΩ。cm、0。5MΩ。cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

  第二,EDI超纯水系统工艺流程

  预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0。2或0。5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ。CM)

  第三,EDI应用领域

  电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

  电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

  显像管和阴极射线管生产、配料用纯水

  黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水

  液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液

  晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制

  集成电路生产中高纯水清洗硅片

  半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路

  LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏

  高品质显像管、萤光粉生产

  半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗

  超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料

  实验室和中试车间

  汽车、家电表面抛光处理

  光电产品、其他高科技精微产品


(责任编辑:李德馨)
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